Плиты подноса кремниевого карбида Сик керамические для травления Икп

Информация о продукте

Подложки, используемые в процессах эпитаксиального выращивания, подвергаются воздействию высоких температур и тщательной химической очистке. Маскера предлагает керамические пластины из карбида кремния высокой чистоты, которые обеспечивают исключительную термостойкость, равномерное распределение тепла для одинаковой толщины и стойкости слоя эпителия, а также надежную химическую стойкость.

Неоксидная керамика, карбидокремниевая керамика (карбид кремния ) представляет собой сверхтвердый материал с твердостью по шкале Мооса до 9,5. Керамика из карбида кремния обладает не только превосходными механическими свойствами при комнатной температуре, такими как высокая прочность на изгиб, превосходная стойкость к окислению, хорошая коррозионная стойкость, высокая износостойкость и низкий коэффициент трения, но и выдающимися механическими свойствами (прочность, сопротивление ползучести) при высокой температуре. жаропрочность может сохраняться до 1600°C, что является лучшим среди всех керамических материалов. Стойкость к окислению керамики из карбида кремния также является лучшей среди всей неоксидной керамики.

Маскера производила керамику из карбида кремния в двух формах: спеченный карбид кремния (SSiC ) и реакционно связанный карбид кремния (SiSiC ).&NBSP ;

Спеченная керамика из карбида кремния производится с использованием высокочистых и наноразмерных сырьевых порошков, которые спекаются при высокой температуре в диапазоне от 2100 ℃ до 2200 ℃. Этот процесс спекания приводит к уплотнению сырца и усадке примерно на 20%. С другой стороны, реакционно-связанный карбид кремния использует порошок карбида кремния микронного размера и спекается в диапазоне температур от 1450 ℃ до 1700 ℃. В отличие от спеченного карбида кремния, реакционно-связанный карбид кремния не подвергается усадке формы в процессе спекания.

Более высокая температура спекания спеченного карбида кремния приводит к улучшению эксплуатационных характеристик, включая более высокую плотность, повышенную прочность и повышенную стойкость к окислению и коррозии. Для применений, не требующих таких высоких эксплуатационных характеристик, реакционно-связанный карбид кремния является более экономичным выбором.

Основные свойства керамики из карбида кремния

• Высокая прочность при высокой температуре

• Стойкость к высокотемпературному окислению

• Отличная износостойкость

• Низкий коэффициент теплового расширения

• Высокая теплопроводность

• Отличная термостойкость

• Высокая твердость

• Легкий вес из-за низкой плотности
  

• Хорошая коррозионная стойкость

Типичные области применения керамики из карбида кремния

• Кольца механического уплотнения

• Шарики, седла, вкладыши для клапана

• Мебель для печи

• Теплообменники

• Неподвижные и подвижные компоненты турбины

• Мелющие тела

• Военные пуленепробиваемые плиты

• Компоненты для горелок

• Керамические подшипники

Технический паспорт материала

Доступные формы карбидокремниевой керамики

1. Керамический стержень/керамический штифт/керамический поршень

2. Керамическая трубка/керамическая втулка/керамическая втулка

3. Керамическое кольцо/керамическая шайба/керамическая прокладка&NBSP ;

4. Керамический диск

5. Керамическая плита/керамический блок

6. Керамический шар

7. Керамический поршень

8. Керамическая насадка

9. Керамический тигель
   

10. Другие нестандартные керамические детали

Упаковка и отгрузка