Керамические пластины из карбида кремния Так для травления ПМС

Подробности продукта

Подложки, используемые в процессах эпитаксиального роста, подвергаются воздействию высоких температур и тщательной химической очистке. Тушь предлагает высокочистые керамические пластины из карбида кремния, которые обеспечивают исключительную термостойкость, равномерное распределение тепла для стабильной толщины и сопротивления эпитаксиального слоя, а также высокую химическую стойкость.

Неоксидная керамика, карбидкремниевая керамика (SiC) – сверхтвёрдый материал с твёрдостью по шкале Мооса до 9,5. Карбидокремниевая керамика обладает не только превосходными механическими свойствами при комнатной температуре, такими как высокая прочность на изгиб, отличная стойкость к окислению, хорошая коррозионная стойкость, высокая износостойкость и низкий коэффициент трения, но и выдающимися механическими свойствами (прочность, сопротивление ползучести) при высоких температурах. Высокотемпературная прочность сохраняется до 1600 °C, что является лучшим показателем среди всех керамических материалов. Карбидокремниевая керамика также обладает лучшей стойкостью к окислению среди всех неоксидных керамик.

Компания Тушь выпускала керамику из карбида кремния в двух формах: спеченный карбид кремния (SSiC) и реакционно-связанный карбид кремния (SiSiC). 

Керамика из спеченного карбида кремния производится из высокочистых нанопорошков, которые спекаются при высокой температуре от 2100 до 2200 °C. Этот процесс спекания приводит к уплотнению заготовки и усадке примерно на 20%. В то же время, для производства реакционно-связанного карбида кремния используется порошок карбида кремния микронного размера, который спекается при температуре от 1450 до 1700 °C. В отличие от спеченного карбида кремния, реакционно-связанный карбид кремния не подвергается формовочной усадке в процессе спекания.

Более высокая температура спекания спеченного карбида кремния обеспечивает улучшенные эксплуатационные характеристики, включая более высокую плотность, прочность и повышенную стойкость к окислению и коррозии. Для применений, не требующих столь высоких эксплуатационных свойств, реакционно-связанный карбид кремния является более экономичным выбором.

Основные свойства керамики из карбида кремния

• Высокая прочность при высоких температурах

• Стойкость к высокотемпературному окислению

• Отличная износостойкость

• Низкий коэффициент теплового расширения

• Высокая теплопроводность

• Отличная стойкость к тепловым ударам

• Высокая твердость

• Легкий вес из-за низкой плотности
  

• Хорошая коррозионная стойкость

Типичные области применения керамики из карбида кремния

• Механические уплотнительные кольца

• Шарики, седла, вкладыши для клапанов

• Мебель для печи

• Теплообменники

• Неподвижные и подвижные компоненты турбины

• Мелющие тела

• Компоненты для горелок

• Керамические подшипники

Паспорт безопасности материала

Доступные формы керамики из карбида кремния

1. Керамический стержень / керамический штифт / керамический плунжер

2. Керамическая трубка / керамическая втулка / керамическая гильза

3. Керамическое кольцо / керамическая шайба / керамическая прокладка 

4. Керамический диск

5. Керамическая пластина / керамический блок

6. Керамический шар

7. Керамический поршень

8. Керамический тигель

9. Другие изготовленные на заказ керамические детали

Упаковка и отправка