Керамические подносы из карбида кремния так для травления ICP

Информация о продукте

Носители пластин, используемые в процессах эпитаксиального выращивания, подвергаются высоким температурам и тщательной химической очистке. Маскера предлагает керамические пластины из карбида кремния высокой чистоты, которые обеспечивают исключительную термостойкость, равномерное распределение тепла для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также надежную химическую стойкость.

Безоксидная керамика, карбидокремниевая керамика (Карбид кремния) представляет собой сверхтвердый материал с твердостью по шкале Мооса до 9,5. Керамика из карбида кремния не только обладает превосходными механическими свойствами при комнатной температуре, такими как высокая прочность на изгиб, отличная стойкость к окислению, хорошая коррозионная стойкость, высокая износостойкость и низкий коэффициент трения, но также выдающимися механическими свойствами (прочность, сопротивление ползучести) при высокой температуре, высокотемпературная прочность может сохраняться до 1600°C, что является лучшим показателем среди всех керамических материалов. Стойкость карбидокремниевой керамики к окислению также является лучшей среди всей неоксидной керамики.

Маскера производила керамику из карбида кремния в двух формах: спеченный карбид кремния (ССиК) и карбид кремния, связанный реакцией (SiSiC). 

Спеченная керамика из карбида кремния производится с использованием высокочистых и нанокачественных необработанных порошков, которые спекаются при высокой температуре в диапазоне от 2100 ℃ до 2200 ℃. Этот процесс спекания приводит к уплотнению сырца и усадке примерно на 20%. С другой стороны, карбид кремния с реакционной связью использует порошок карбида кремния микронного размера и спекается в диапазоне температур от 1450 ℃ до 1700 ℃. В отличие от спеченного карбида кремния, карбид кремния с реакционной связью не подвергается усадке формы в процессе спекания.

Более высокая температура спекания спеченного карбида кремния приводит к улучшению эксплуатационных характеристик, включая более высокую плотность, повышенную прочность и повышенную стойкость к окислению и коррозии. Для применений, которые не требуют таких высоких эксплуатационных свойств, карбид кремния с реакционной связкой является более экономичным выбором.

Основные свойства карбидокремниевой керамики

• Высокая прочность при высокой температуре

• Устойчивость к высокотемпературному окислению

• Отличная износостойкость

• Низкий коэффициент теплового расширения

• Высокая теплопроводность

• Отличная стойкость к термическому удару

• Высокая твердость

• Легкий вес из-за низкой плотности
  

• Хорошая устойчивость к коррозии

Типичные применения карбидокремниевой керамики

• Механические уплотнительные кольца

• Шарики, седла, вкладыши клапана

• Мебель для печи

• Теплообменники

• Неподвижные и подвижные компоненты турбины

• Шлифовальные материалы

• Военные пуленепробиваемые пластины

• Компоненты для горелок

• Керамические подшипники

Паспорт материала

Доступные формы карбидокремниевой керамики

1. Керамический стержень/керамический штифт/керамический поршень

2. Керамическая трубка/керамическая втулка/керамическая втулка

3. Керамическое кольцо/керамическая шайба/керамическая прокладка 

4. Керамический диск

5. Керамическая пластина/керамический блок

6. Керамический шар

7. Керамический поршень

8. Керамическая насадка

9. Керамический тигель
   

10. Другие нестандартные керамические детали

Упаковка и отгрузка