Пиролитический нитрид бора (ПБН)
Пиролитический нитрид бора (ПБН) — это сверхчистый керамический материал, получаемый методом химического осаждения из паровой фазы (ССЗ) в условиях высокой температуры и вакуума, достигающий чистоты 99,999% (класс 5N). Его исключительная химическая инертность и высокотемпературная стабильность делают его идеальным выбором для обработки полупроводников, выращивания кристаллов и высоковакуумных применений. Сверхвысокая чистота ПБН обеспечивает минимальное загрязнение, что делает его необходимым для МВЕ, МОЦВД и других современных процессов изготовления материалов. Кроме того, его способность сохранять структурную целостность в экстремальных условиях делает его предпочтительным материалом для тиглей, источников испарения и прецизионных компонентов в требовательных отраслях промышленности..
Характеристики
Сверхвысокая чистота (99,999%, сорт 5N).
Отсутствие газовыделения при высоких температурах.
Равномерная толщина для стабильной эффективности нагрева.
Высокая термостойкость и стойкость к тепловому удару.
Хорошая механическая целостность, легко чистится и пригоден для повторного использования.
Высокая химическая инертность, устойчивость к кислотам, щелочам и растворителям при высоких температурах.
Техническая спецификация
такой же | Единица | Технические параметры |
Чистота | % | ссшшш99.999 |
Цвет | - | ивори |
Плотность | г/см³ | 1,95-2,22 |
Постоянная решетки | м | а: 2,5x10-10 с: 6.8x10-10 |
Предел прочности | МПа | 40 |
Прочность на изгиб | МПа | 80 |
Теплопроводность при 200°C | Вт/мк | а:82.3 с:2.6 |
Теплопроводность при 900°C | Вт/мк | а:55.3 с:2.8 |
Коэффициент теплового расширения | 10-6/К | 2(а) |
Макс. рабочая температура при кондиционировании воздуха | °С | 900 |
Макс. рабочая температура в условиях вакуума | °С | 2000 |
Макс. рабочая температура при защите инертным газом | °С | 2200 |
Диэлектрическая проницаемость (10 ГГц) | - | а:5.2 с:3.8 |
Диэлектрическая прочность | КВ/мм | 56 |
Электрическое сопротивление | Ом.см | ссшшш1015 |
Приложения
Тигли для выращивания в место монокристаллов полупроводников III-V групп (GaAs, ИнП, Зазор и т. д.).
Тигли и лодочки для выращивания моно- и поликристаллов III-V групп.
Тигли и источники испарения для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) и обработки OLED.
Графитовые нагреватели и компоненты с покрытием ИПБН для высокотемпературных применений.
Изоляционные компоненты для высокотемпературных вакуумных печей.
Высокотемпературные изолирующие насадки.
Изоляционные плиты ПБН для систем МОЦВД.
Детали электроизоляции, работающие при высоких температурах.
Тигли для специализированного металлургического применения.
Сопутствующие товары
>PBN Тигель | >PBN Шайба | >PBN Лодка |