Почему керамический тигель из нитрида бора подходит для спекания подложек из нитрида кремния и нитрида алюминия
Тигель - это контейнер или сосуд, обычно используемый в процессах высокотемпературного спекания и плавления. Обычно он изготавливается из материалов, устойчивых к высоким температурам, таких как керамика, металлы и графит. Основная функция тигля состоит в том, чтобы удерживать материалы при высоких температурах для спекания, плавления или других процессов термообработки. Выбор материала и размера тигля имеет решающее значение с учетом таких факторов, как температура спекания, размер образца, совместимость с тепловым расширением, смачиваемость и другие конкретные требования к применению.
В процессе спеканиянитрид алюминия (АлN
)икерамические подложки из нитрида кремния (Si3N4), использование керамики из нитрида бора (БН
) в качестве тигля дает несколько преимуществ:
1. Высокотемпературная стабильность:Самая высокая температура спекания для подложек АлN составляет около 2000°C, а для подложек Si3N4 – около 1850°C. Оба процесса связаны с тепловым ударом в различных диапазонах температур.Тигли БНвыдерживает высокие температуры до 2100°C и имеет коэффициент теплового расширения, аналогичный АлN и Si3N4, обеспечивая стабильность в условиях высоких температур. Это имеет решающее значение для спекания высокотемпературных керамических материалов, таких как АлN и Si3N4. &NBSP ;Тигли из нитрида борамогут выдерживать воздействие высоких температур и сохранять свою структурную целостность, обеспечивая стабильность и согласованность в процессе спекания.
2. Низкая смачиваемость:Керамика БН имеет низкую смачиваемость, а это означает, что расплавленные материалы с меньшей вероятностью растекаются по ее поверхности и вместо этого имеют тенденцию образовывать небольшие сферические формы. Это уменьшает площадь контакта между материалом подложки иТигель из нитрида бора&NBSP ;во время спекания, сводя к минимуму адгезию и трудности при удалении спеченных подложек из тигля.
3. Химическая стабильность: БН&NBSP ;керамическийобладает высокой химической стабильностью, не вступает в реакцию со многими материалами и не загрязняет их. При спекании подложек из АлN и Si3N4 использование тиглей из БН обеспечивает прямой контакт с материалом подложки без внесения примесей или изменения состава и свойств подложек.
4. Хорошая теплопроводность:Тигли БН обладают высокой теплопроводностью, что способствует эффективной передаче тепла. Это помогает добиться равномерного нагрева и распределения температуры во время процесса спекания, повышая однородность и качество спекания. Это также способствует однородности плотности, структуры, состава и формы подложки, что приводит к улучшению электрических характеристик, долговечности и точности размеров подложек из АлN и Si3N4.
В заключение, по сравнению с другими материалами для тиглей, нитрид бора (БН )тигель предлагает преимущества низкой смачиваемости, химической стабильности, высокотемпературной стабильности и хорошей теплопроводности при спеканиинитрид алюминия(АлN ) инитрид кремния (Si3N4)субстраты. Эти преимущества обеспечивают надежную, чистую и высококачественную среду для спекания, гарантируя, что подложки спекаются в оптимальных условиях и поддерживают желаемую производительность.
