Керамика из карбида кремния: прецизионные компоненты, необходимые для полупроводниковых процессов (Часть 1)
Карбид кремния (Карбид кремния) как высокоэффективный конструкционный керамический материал обладает такими характеристиками, как высокая плотность, высокая теплопроводность, высокая прочность на изгиб, большой модуль упругости, высокая коррозионная стойкость и устойчивость к высоким температурам. Он менее склонен к деформации из-за изгибающего напряжения или термической деформации, что делает его пригодным для суровых коррозийных и сверхвысоких температур, встречающихся в полупроводниковых процессах, таких как эпитаксия пластин, травление и т. д. Следовательно, он нашел широкое применение в таких процессах, как шлифовка и полировка, термическая обработка, такая как эпитаксия/окисление/диффузия, литография, осаждение, травление и ионная имплантация в производстве полупроводников.
Процесс шлифования
• Зерна шлифовального круга из карбида кремния
Шлифовальный круг Карбид кремния для шлифования пластин После резки слитков на пластины часто возникают острые края, заусенцы, трещины или другие дефекты. Чтобы избежать неблагоприятного воздействия на прочность пластин, качество поверхности и загрязнения частицами в последующих процессах, пластины необходимо шлифовать, чтобы уменьшить толщину, улучшить плоскостность поверхности пластины и устранить повреждение поверхности, вызванное обрезанием проволоки. В настоящее время наиболее распространенным методом является двустороннее шлифование с использованием шлифовальных кругов, при этом предпринимаются усилия по повышению качества шлифования за счет оптимизации таких параметров шлифования, как материал круга, давление шлифования и скорость вращения.
Принцип двустороннего шлифования
Традиционно шлифовальные круги изготавливались преимущественно из чугуна или углеродистой стали, характеризующихся коротким сроком службы и значительными коэффициентами теплового расширения. Однако с развитием износостойких керамических материалов Карбид кремния и процессов спекания шлифовальные круги из Карбид кремния постепенно вытеснили круги из чугуна и углеродистой стали из-за их высокой твердости, низкого износа и коэффициентов теплового расширения, аналогичных кремниевым пластинам, предлагая значительные преимущества. особенно в процессах высокоскоростного шлифования и полировки.
Шлифовальный круг из карбида кремния
Термическая обработка и другие процессы
• Крепления и компоненты из карбида кремния внутри реакционных камер
Крепления и компоненты Карбид кремния в реакционных камерах Производство пластин включает в себя различные термические процессы, такие как окисление, диффузия, отжиг и легирование, которые требуют керамических продуктов Карбид кремния для транспортировки пластин между процессами и компонентами в оборудовании для термической обработки.
Керамические Оружия
При производстве полупроводниковых пластин необходима высокотемпературная термообработка, часто с использованием механических рычагов для транспортировки, обработки и позиционирования полупроводниковых пластин. Эти рычаги должны обладать высокой механической прочностью, коррозионной стойкостью, устойчивостью к высоким температурам, износостойкостью, высокой твердостью и изоляцией, поскольку они работают в чистых, высокоскоростных и часто агрессивных средах, таких как вакуум, высокие температуры и химически активные газы. . По сравнению с оксидом алюминия, керамические рычаги из Карбид кремния лучше отвечают этим требованиям, но их высокая стоимость и трудности обработки несколько ограничивают их применение.
Компоненты в реакционных камерах
Полупроводниковое оборудование для термической обработки включает в себя печи окисления (горизонтальные и вертикальные) и оборудование для быстрой термической обработки (RTP). Из-за высоких рабочих температур компоненты внутри реакционных камер требуют высокой производительности. Компоненты из спеченного карбида кремния высокой чистоты, в том числе вертикальные лодочки, опоры, гильзы, внутренние трубки и перегородки, незаменимы для оборудования для термической обработки интегральных схем.
Компоненты внутри реакционных камер
Продолжение следует....
СЯМЭНЬ МАСКЕРА ТЕХНОЛОДЖИ КО., ЛТД. является авторитетным и надежным поставщиком, специализирующимся на производстве и продаже технических керамических деталей. Мы обеспечиваем индивидуальное производство и высокоточную механическую обработку широкого спектра высокоэффективных керамических материалов, включая глиноземная керамика, циркониевая керамика, нитрид кремния, Карбид кремния, нитрид бора, нитрид алюминия и обрабатываемая стеклокерамика. В настоящее время наши керамические детали можно найти во многих отраслях промышленности, таких как механическая, химическая, медицинская, полупроводниковая, автомобильная, электронная, металлургическая и т. д. Наша миссия — предоставлять керамические детали самого высокого качества для пользователей во всем мире, и нам очень приятно видеть нашу керамику. детали эффективно работают в конкретных приложениях клиентов. Мы можем сотрудничать как в прототипном, так и в серийном производстве. Если у вас есть требования, свяжитесь с нами.
